V1000/1000X/1000XS等離子清洗機
高頻輸出100~1,000W（V1000）/100~1,000W&1,500W（V1000X/1000XS）,電極尺寸 280×280mm（V1000） 300×300mm（V1000X） 400×375mm（V1000XS）
13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機，搭載 RIE·DP 雙模式。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調取數據簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。
特征
●可變更電極構造提高等離子效果。
●搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
●可根據需求規格提供定制。
用途
●硅晶圓的灰化及蝕刻
●基板表面污垢處理
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
●半導體相關部品的電子材料的干式清洗
●自然氧化膜·有機物去除
●界面活性處理
●表面污染物去除
規格
型號 | V1000 | V1000X | V1000XS |
等離子模式 | DP/RIE | ||
高頻電源 | 13.56MHz | ||
輸出功率 | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
有效電極尺寸 | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
電極 | 平行平板 | 2段電極（獨立） | 平板（多目的） |
反應氣體 | 聚合控制器2系統（填充氣路另行安裝） | ||
真空泵（標配） | 約1000L/min | 約1500L/min | 1000 & 1500L/min |
安全裝置 | 門檢測開關、聯鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等 | ||
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